流動層CVD炉

モデル:TOB-1200-LTS-FB
TOB-1200-LTS-FB は、粉末表面堆積用の流動層 CVD 炉です。ガスは石英管の底部から入り、多孔質石英板を通過し、1150 度連続で 1 時間未満で 200 mm の加熱ゾーン . 1200 内に粉末を懸濁します。

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製品説明

アモイ TOB New Energy Technology Co., Ltd. は、中国で最も信頼できる流動層 CCVD 炉のメーカーおよびサプライヤーの 1 つです。当社の工場から競争力のある価格で高品質の流動層CVD炉を購入することを歓迎します。協力に関するご質問がございましたら、お気軽にメールでお問い合わせください。

流動層CVD炉

仕様

製品概要

TOB-1200-LTS-FB は、粉末表面堆積実験用に構築された流動層 CVD 炉です。高純度石英管の下部には多孔質石英プレートが取り付けられています。粉末はそのプレート上に置かれ、ガスがチューブの底から供給され、プレートを通る上向きの流れによって粒子が持ち上げられ、堆積が行われている間加熱ゾーン内で粒子が浮遊します。

炉は 1 時間以内に 1200 度に達し、200 mm の加熱ゾーンと 100 mm の定温ゾーンを備え、連続的に 1150 度を維持します。チューブはΦ25mmまたはΦ50mm、長さ600mmがあり、多孔質プレートは粉末の必要な孔径に合わせて作成されます。空冷付きの二層シェル、チューブ交換用の分割炉本体、石英チューブガード、機械式圧力リリーフバルブがすべて標準装備されています。

TOB-1200-LTS-FB の主要なエンジニアリング特性

粉末堆積専用に設計:多孔質石英プレートと底部ガス入口が存在するため、粒子は加熱ゾーン内に置かれるだけでなく、加熱ゾーン内に浮遊します。

空冷式二層シェル:外皮は、同じチャンバー温度の単層炉よりも低温のままです。

分割開閉可能な炉本体:本体が開くので、炉を分解せずに石英管を交換できます。

石英管ガード:チューブの周りのシールドは、真空や熱衝撃で石英が破損した場合の怪我を防ぎます。

機械式安全圧力リリーフバルブ:多孔質石英フィルタープレートが詰まった場合に、過剰な圧力から保護します。

高温コーティングを施したアルミナチャンバー:チャンバー表面に米国から輸入された高温アルミナコーティングを施した高純度アルミナファイバー断熱材により、より高い加熱効率とより長いチャンバー寿命を実現します。

HRE 合金発熱体:K タイプ熱電対では、1 時間未満で 1200 度に到達可能、連続 1150 度、精度 ±1 度。

ステンレススチール製シーリングアセンブリ:ダブルシリコン O リングフランジアセンブリが標準装備されており、オプションで 5 × 10⁻¹ Pa (機械式) または 5 × 10-3 Pa (ターボ) までのポンプセットを使用できます。

完全な仕様

1. 炉体および熱仕様

パラメータ	仕様
設備電力	110V 1.2KW
チャンバー材質	高純度アルミナファイバー素材
発熱体	HRE高温合金線
最高温度	1200度（1時間以内）
連続温度	1150度（連続）
温度精度	±1度
熱電対	K型熱電対
最大加熱速度	20度/分以下
チャンバーサイズ	80mm×200mm
加熱ゾーンの長さ	200mm
恒温ゾーン長さ	100mm

2. 石英管と多孔板

パラメータ	仕様
チューブサイズ	Φ25mmまたは50mm×600mm
チューブ材質	高純度特製石英管
多孔質石英板の孔径	4～550 μm、複数の仕様が利用可能でカスタマイズ可能

3. 真空シールシステム

アイテム	仕様
シーリングシステム	標準: ダブルシリコン O リングステンレス鋼シールフランジアセンブリ 1 セット、機械的安全圧力リリーフバルブと石英チューブガード付き
真空・メカニカルポンプセット	5×10⁻¹Pa（オプション）
真空・ターボポンプセット	5×10-3Pa（オプション）

4. 寸法、重量および保証

アイテム	仕様
外形寸法	510mm×430mm×1000mm
正味重量	約35KG
保証	1 年間の保証、生涯技術サポート

5. 消耗品および保証の除外

アイテム	詳細
消耗品は含まれません	発熱体、熱電対、サンプルるつぼなどの消耗部品は含まれておりません。
腐食性ガス、酸性ガス	腐食性ガス、酸性ガスの使用による損傷は保証対象外となります。

制御システム

コントローラーは、7 インチのトゥルーカラータッチスクリーンを備えた組み込みオペレーティングシステムで実行されます。再現可能な粉末 CVD 作業には 4 つの機能が重要です。

関数	詳細
保存された温度曲線	15 個の温度曲線を事前に保存できるため、別の実験プロセスを最初から再セットアップする必要はありません
組み込みオペレーティングシステム	切り替え可能な中国語/英語グラフィカルインターフェイス、7 インチトゥルーカラータッチスクリーン入力、インテリジェントヒューマンマシンダイアログモード
非線形温度補正	非線形サンプル温度補正により、表示値を測定サンプル温度と一致させる
開始予定	オプション機能として利用できるため、選択した時間に実行を開始するように設定できます。
システム保護	過熱アラーム、熱電対断線表示、および漏れ保護